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半導体ウェーハ

半導体ウェーハ

December 03, 2023

製造工程を分類すると、 半導体シリコンウェーハ 大きく分けて研磨ウェーハ、エピタキシャルウェーハ、SOIシリコンウェーハに代表されるハイエンドシリコン系材料に分けられます。単結晶シリコンインゴットは、切断、研削、研磨によって加工され、研磨ウェーハが得られます。研磨されたウェーハは、エピタキシャル成長を受けてエピタキシャルウェーハを形成し、その後、酸化、結合、またはイオン注入などのプロセスによって処理されて、SOIシリコンウェーハが形成される。

半導体シリコンウェーハの寸法(直径換算)は、サイズ分類により主に125mm(5インチ)、150mm(6インチ)、200mm(8インチ)、300mm(12インチ)などの規格があります。

シリコンウェハのサイズが大きくなるほど、より多くのチップが搭載されます。 単一のシリコンウェーハ、生産効率を向上させ、生産コストを削減できます。 300mmシリコンウェーハは200mmシリコンウェーハの2.25倍の面積で、1.5cm×1.5cmチップを例にとると、チップ生産数は300mmシリコンチップが232個、200mmシリコンチップが88個となります。 300mm シリコン チップの数は 200mm シリコン チップの 2.64 倍です。

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